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定龙门直驱定位平台

速度稳定性 1‰

重复定位精度 ±1μm

软硬件控制方案全自研

提供定制化服务

规格书下载

13655559489 （孙经理）

| 产品详情

技术指标	数据
最大速度	500mm/s
最大加速度	1G
重复定位精度	≤±1μm
定位精度（补偿后）	≤±1.5μm
直线度	≤5μm
垂直度	≤8μm
光栅尺分辨率	0.1μm

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