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龙门双驱三轴精密运动平台

重复定位精度 ±1μm

软硬件控制方案全自研

提供定制化服务

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13655559489 （孙经理）

| 产品详情

技术指标	数据
有效行程	X轴:300mm Y轴:300mm
最大速度	X轴:600mm/s Y轴:600mm/s
最大加速度	X轴:0.6G Y轴:0.6G
重复定位精度	X轴:±0.5μm Y轴:±1μm θ轴：±2arcsec
直线度	X轴:±4μm Y轴:±4μm
最大负载	10kg
正交度	±5μm
光栅尺分辨率	0.1μm

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