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亚微米级精密运动平台

速度稳定性 1‰

重复定位精度 ±0.3μm

软硬件控制方案全自研

提供定制化服务

规格书下载

13655559489 （孙经理）

| 产品详情

技术指标	数据
有效行程	X轴:300mm Y轴:300mm
最大速度	X轴:800mm/s Y轴:800mm/s
行走平面度	X轴:±3μm Y轴:±3μm
最大加速度	X轴:1G Y轴:1G
重复定位精度	X轴:±0.3μm Y轴:±0.3μm
绝对定位精度	X轴:±0.5μm Y轴:±0.5μm
直线度	X轴:±1.5μm Y轴:±1.5μm
最大负载	10kg
光栅尺分辨率	0.1μm

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