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三轴直驱定位平台

速度稳定性 1‰

重复定位精度 ±0.3μm

软硬件控制方案全自研

提供定制化服务

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13655559489 （孙经理）

| 产品详情

技术指标	数据
有效行程	X轴:350mm Y轴:350mm
最大速度	X轴:400mm/s Y轴:400mm/s
速度稳定性	X轴:1‰ Y轴:1‰
最大加速度	X轴:0.6G Y轴:0.6G
重复定位精度	X轴:±0.3μm Y轴:±0.3μm θ轴：±1.5arcsec
绝对定位精度	X轴:±0.5μm Y轴:±0.5μm θ轴：±10arcsec
整定时间	X轴:50ms Y轴:50ms
直线度	X轴:±2μm Y轴:±2μm
行走平面度	X轴:±3μm Y轴:±3μm
最大负载	10kg
正交度	±5μm
光栅尺分辨率	0.1μm

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